XPS秘笈分享連載（二）微區分析之精確導航-SXI
在PHI CHINA“XPS秘笈分享连载一：微区分析之精确导航-SXI”网络讲座第一课中，我们一同学习了在XPS分析时,如何运用SXI功能，以达到XPS分析的精确导航和精准分析，并在讨论中，我们明晰了在实验分析时,至关重要的一点是：需要选择合适的入射X射线源的束斑大小去对应所需要分析的样品的大小。8月5日(周三)PHI CHINA继续以“SXI”为主题，延展第一课的内容，与大家分享了更多关于XPS分析实验的SXI功能。
在XPS实验或者其他分析技术中，知道分析信号真正来自哪一区域是最基本，也是最重要的。因此在做实验的时候，分析工具是如何定义所谓的“分析区域”呢?
例如，在SEM/EDS仪器上，是透过观察源自一次分析电子束源的SEM图像去定义分析位置的，因为观察源和分析源是完全同源同光路的，因此，这“分析区域”的定义是完全准确的。而对于XPS而言，最常用的方法是：当样品在分析室中，透过CCD相机拍摄样品去定义“分析区域”。但是，实际情况却是CCD并不是分析束源,那么这对分析结果会存在一个怎样的问题?（见下图）
光学影像中往往见不到如右图SXI中的样品真实形貌
此次，我们以各种真实样品为例(如粉末等)，实际操作并演示如何进行XPS分析，以实例的方式让大家更直观和深刻的明晰：在整个分析过程中，甚至在数据处理时，“定义分析区域和讯号来源区域”这一最基本的概念。我们最终的目的是为了获得最准确且最正确的XPS分析结果。
Mr. Wensly Yip 叶上远 – 高德英特 中国区 执行总监PHI (China) Limited Executive Director
PHI (China) Limited 高德英特(北京)科技有限公司
上远先生在線講座中的旁白
On 4th July 2020, we have brought the web class of the technical skill sharing of Accurate Navigation on XPS analysis by the function of SXI. With that, we have learnt and known that how important it is to have the capabilities to vary the primary analysis spot size so that fitting to the require analyzes / analyzed feature.
This time, we hope to bring you another online course that extends this concept. In real life, for XPS experiments and even many other analysis techniques, it is very important to know where to analyze and where the signal really comes from. Therefore, the most important point is simplicity: How analysis tools define/define the so-called "analysis area".
For example, on SEM/EDS instruments, the analysis position is defined based on the SEM image from the main electron beam. So, it is always completely accurate. For XPS, the common and most commonly used method is using a CCD camera to photograph the sample while the sample is in the analysis room. However, the reality is that the CCD is not the main beam.
In this extended course, we will take the real example of / as an example to demonstrate how to conduct a real experiment of XPS analysis. When considering the very basic concept of "defining the analysis area", after all, it returns to the theme of "precise navigation and precise analysis". Ultimately, this will help us obtain the most accurate and correct XPS analysis results.
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